海外・国内問わず半導体製造装置部品及び精密部品の輸入販売、メンテナンス、その他サービスをワールドネットワークを駆使してお客様をサポートしております。
お客様のニーズに合わせた最高のサービスをご提供致します。

<部品販売>

半導体製造装置の純正パーツ及び実績のあるセカンド品のご提供を行っております。前工程・後工程関係なくメーカーで製造・販売を終了し、代理店で入手が困難な場合でも、お客様のビジネスが停滞しないよう、ご要望に応じて弊社ルートで調達致します。

近年、6inc・8inc以外の12incユーザー様からのご相談も幅広く行っております。代替品や改造等のご相談が御座いましたら、何なりとお問い合わせください。御見積・調査等は無償にて行わせて頂きます。

・中古半導体製造装置の販売 / リファビッシュ / 立ち上げ作業
・半導体製造装置用周辺設備 及び部品の販売(新品/中古品)
・真空装置の設計 / 製作 / 設置 / 立上げ
・真空装置全般とその周辺機器、及び計測器の販売(新品/中古品)
・装置 及び各種部品の設計と製作

<サービス業務>

国内製品はもちろん、アメリカ、台湾、韓国、中国、シンガポール、ヨーロッパといった世界中のメーカーから電子デバイスを仕入れてお客様に供給しております。コストを抑えた高品質な製品でお客様のニーズに応えることかできます。どんな難易度の高い案件でも高い経験と知識で解決致します。

・半導体製造装置のトラブル対応 / 点検 / オーバーホール
・装置部品 及び各種ユニット等の引取りによる修理またはオーバーホール
・前工程後工程の装置 及び付帯設備の解体 / 移設 / 立上げ
・ 保守終了等による保全でお困りの装置または機器の対応
・ RFネットワークの調査 / 最適化業務

 

<修理業務>

●下記以外にも対応可能になりますので、一度ご相談くださいませ。

[取扱装置及び修理実績]

AMAT

Centura CVD Centura SA Centura Wxz Centura Etch
Endura P5000CVD P5000ETCH PE8300

 

NOVELLUS

Concept-One Concept-Two(SEQUEL) Concept-Two(SPEED) Concept-Two(ALTUS) PEP3510

 

ASM

Eagle10

 

LAM

TCP940 RAINBOW TCP9600

 

[取扱製品]

アドバンスドエナジー<Advanced Energy> RF・DC電源各種等 アドテックプラズマテクノロジー<ADTEC>
RF・DC電源各種等 日本MKS Rバラトロン・マノメーター等
ENテクノロジーズ<EN technologies> DC電源各種 日立金属<Aera>
マスフローコントローラー各種等 堀場エステック<HORIBA STEC> マスフローコントローラー各種等
フジキン<FUJIKIN> VALVE・マスフローコントローラー各種 TKF<TK FUJIKIN>
VALVE各種 アルバック<ULVAC> 半導体装置・付帯設備等

[取扱修理対応品(取扱モデル)]

AE(RFPP)

AM5 AM10 AM2 AM25
AM30 AM50 AMNP AMNHS
Apex1513 Apex3013 Apex3k2pin Apex5513
Apex10013 Ascent 40k&60k Astral 20k ATL 100
ATLAS 1513/2012 ATX600 ATX CP AZX 10
AZX 63 AZX 72 AZX 90 AZX Dome
Cesar 133 Cesar 136 Cesar 1310 Cesar 1312
Cesar 1320 Cesar 1325 Cesar 1330 Cesar 1350
Cesar 0210 Cesar 2710 Cesar 2720 Cesar 405
Cesar 4020 Cesar 4040 Cesar 6020 Cesar 6020
E-Wave FTMS 2k GenCal HFV 3k
HFV 5k HFV 8k ICP10/20 ID 2500/3500
ID 3501 IDX II LF-5 LF10
LF20 LF30 LFGS 1250 Litmas 1501/3001
LM 5K LM 10K LR 853 MDL II 10K
MDL II 15K MDX 500 MDX 500 DUAL MDX 1K/1.5K
MDX 2.5K MDX 208 5K MDX208 10K MDX308 10K
MDX 15K MDX 20K MDX 25K MDX 30K
MDX 35K MDX 40K MDX 50K MDX 60K
MDX II 15K MDX II 30K MDX-L 6K MDX-L 12K
MDX-L 15K MDX-L 18K Mercury 1K Mercury 3K
Mercury 10K MSD 350 Navigator 1013-L35 Navigator 2060
Navigator 3013 Navigator 3013-ICP Navigator 4040 Navigator 5060/5002
Navigator 5513 Navigator 5513-L80 Navigator 10013 Ovation 2560
Ovation 2760 Paramount 3k PDP 2500 PDX 500
PDX 900 PDX 1250 PDX 1400 PDX 2500
PDX 5000 PDX 8000 PDX II 2K & 3K PDW 2200
PE 1K PE 2.5K PE 3.75K PE 5K
PE 10K PE II 5K PE II 10K Pinnacle 3000
Pinnacle I 6/6K Pinnacle I 6-8K Pinnacle I 12-15K Pinnacle II 6K
Pinnacle II /6/6K Pinnacle II 10K Pinnacle II 10/10K Pinnacle II 12K
Pinnacle II 20K Pinnacle Plus+ 5K Pinnacle Plus+ 5/5K Pinnacle Plus+ 10K
Pinnacle Diamond 8K Pinnacle Diamond 10K Pinnacle Diamond 15K Pulsar 40K
Pulsar 80K Rapid F Rapid OE RF 5
RF10 RF20 RF25 RF30
RF35 RF50 RFDS 1250 RFDS 1251
RFDS 2K2V RFG 2K2V RFG 3000 RFG 3001
RFG 3002 RFG 5500 RFX 600 RFX 600A
RFX II 1250 RFX II 3000 RFX II 5500 Sparc VS
Sparc-le 20K Sparc-le 30K Sparc-le II Sparc-le V
STARBURST SUMMIT 50K UNIT SUMMIT 50K Module Vario Match 600
Vario Match 700 Vario Match 1000 Vario Match 1200 Vario Match 1500
Vario Match 3000 Vario Match 5000 VHF 2060 Xstream
Z-scan      

 

ADTEC

AX-500 series AX-1000 series AX-2000 series AX-3000 series
TX03 series TX06 series TX06 series TX20 series
TX30 series TS05 series TS10 series TS20 series
TS30 series AMV1000-G5E series AMV1000-MAT AMVG series
AM-1000 series AM-2000 series AW-3000 AW-8000II
AMV-1000ASM-27M AMV-3000SM AMV-1000G5C series  

 

Trazar

AMU2-1 AMU2C-1 AMU10D-1 AMU10D-2 AMU10E-2 AMU10G-2 RDFS-1 RFS1-3 SRN1-2

 

MKS<ENI&ASTEX>

OEM-6 series OEM-650 series OEM-12 series OEM-1250
OEM-2000 OEM-25 series OEM-28 series OEM-50 series
PL-2HF series PL-3G GMW-25A GMW-50A
LPG-1AT LPG-12A ACG-6B ACG-10T
MWD-25LD/55LD MHW-25-04 MWH-25-04 MWM-25-02X
NOVA-50A ACG10 1出力 DPG10 2出力 DCG-100Z/200Z/400Z series
GHW-12Z GHW-25 MAGNETRON HEAD DC22M
DPGS-10 DPGD-10 ONE BOX OB2(2MHz) ONE BOX OB2(27MHz)
SXRHC/Smart Match      
FI20160-1/20160-3/20045/20606/20606-1/20634/20162-1 ASTRON RPSC 2L/3L/6L/8L/15L/22L/30L
X-2115/2530/2630/7651/7685/7690PSK-04/8200/8560-7100/8560-3020/8555/9670
MKS Baratron 622/623/625/626/627/628/629/722/750/751/E28B/E29B

 

COMDEL

CPS-100/13 CPS-1000/13 CPS-1000M/13 CPS-1001/13 CPS-1001S/13 CPS-1001/60
CPS-1001S/60 CX-600 CX-600S CX-600S/13 CLF-5000 CLX-2500
CLX-1250S FP1543RA CB series CX series CDX series CXH series
FR2241R3          

 

京三(KYOSAN)

RFK-20 Series RFK-30 Series RFK-50 Series RFK-75 Series RFK-100 Series DFK45Z

 

DAIHEN

DRFS-5SA DRFS-5SAR2 DRFS-10SB MFG-15SA MFG-20SA MFG-20SA1
MFG-20SA3 MFM-20SA2 AMN-30C11 RMN-30D2 RMN-50B RMN-75A
RMN-75A1          

 

パール工業(PEARL)

LP-500-800K LP-2000-800K RP-150-2M RP-300-2M RP-300-1356 RP-3000-27M
AMAT MATCH 0010-21748 PVD RF Match”300mm METAL ENDURA” 0010-13878 PVD RF Match” METAL ”
0010-02977 PVD RF Match” METAL ” 0010-15877 PVD RF Match” METAL ” 0010-01929 PVD RF Match” METAL ”
0010-13627 PVD RF Match” METAL ” 0010-22161 PVD RF Match” METAL ” 0010-02979 PVD RF Match” METAL ”
0010-15878 PVD RF Match” METAL ” 0010-30236 PVD RF Match” METAL ” 0010-33724 PVD RF Match” METAL ”
0010-02372 PVD RF Match”300mm METAL ENDURA” 0010-26180 PVD RF Match”300mm METAL ENDURA”
0010-30686K High RF Match ECTH,MXP+”DRY” 0010-30686R High RF Match ECTH,MXP+”DRY”
0010-09750 RF Match Box,CVD”P-5000 CVD” 0010-09417 RF Match Box,CVD”200mm CVD”
0010-04138 RF Match Box,MCVD”CVD” 0010-20525 RF Match Box,PVD”150mm METAL”
0010-20524 RF Match Box,PVD”200mm METAL” 0010-30094 RF Match Box,W/PEAK DETECTO” METAL ”
0010-36162 RF Match Box,SIMPLE CATHODE” METAL ” 0010-09416 RF Match Box,ETCH”200mm DRY”
0010-00854 RF Match Box,DPS”200mm CENTURA DPS” 0010-36114 RF Match Box,DPS”200mm CENTURA DPS”
0010-26408 RF Match Box,DPS”200mm CENTURA DPS” 0010-20855 RF Match Box,DPS”200mm CENTURA DPS”
0010-26029 PVD Fixed Match”300mm METAL ENDURA” 0010-23684 Top Match”300mm CVD ULTIMA”
0010-23685 Side Match”300mm CVD ULTIMA” 0190-13025 AE RPSC RAPID
1110-01043 Dome Match”200mm DRY” 1110-01046 Dome Match”200mm DRY” 0190-01371 HDP Bias Match
FR2241R3 LF Match Box <COMDEL>”300mm METAL ENDURA

 

Brooks Automation

MagnaTron 7 (MAG7) MTR5 ATR8 Brooks(旧TRI)ABM405-1-NOZ
MagnaTron 6 (MAG6) MagnaTron 8 (MAG8) ATR7 VTR5 PRI
ATM-1×4/105/107/204/205/207/305/405/407 DBM-2405/2406/2407/2506/2507/2607 WTM-107/407/511
TSB-2407 PRE-200 Series ESC-100/200 4520RVCE  

 

 

Genmark

GB3/4/4E/4S/4P/4PS/5/7/7S/7Y/8/8Y GENCOBOT RORZE RR304/700/701/811/713/721 MECS
ASYST UTC-100/100A/100HG/800/820 ASYST UTL-80/100 ASYST UTV-400/2500
ASYST UTW-2000/3000 ASYST UTX-1100/1200 ASYST OF-100A/250/OFH-3000 ASYST OFH-100/3000
ASYST CS-100/1000 ASYST 300FL ASYST ISOPORT ASYST LPT ASYST YA-400
Kensington WH3C/4C/4D WFH3C/H4D Milti-Link Module      

 

日立金属<Aera & SAM>

AFC-780CHT× FC-260 Aera FC-7810CD× FC-261 Aera FC-7810CD× FC-262 Aera FC-D980C× LX-1200C
Aera FC-2902-MEPT-T× FC-770 Series Aera FCPA-PA7850CTBH× FC-771 Series FC-780 Series FC-781 Series
Aera 5Ra FC-D980C× FC-772 Series Aera FC-2902MEP5-4V× FC-773 Series FC-782 Series FC-785 Series
FC-786 Series FC-980 Series FC-981 Series FC-982 Series FC-985 Series FC-986 Series FC-7700 Series
FC-7710 Series FC-7800 Series FC-7810 Series FC-7850 Series
FC-7860 Series FC-D980 Series FC-D981 Series FC-D982 Series
FC-D985 Series FC-D986 Series FC-R7700 Series FC-R7710 Series
FC-R7800 Series FC-R7810 Series FC-PA773 Series FC-PAR7810 Series
FC-PAR7820 Series FC-PAR7850 Series FC-PAR7860 Series FC-DR980 Series
FC-DR981 Series FC-PA7810 Series    

 

堀場エステック(HORIBA STEC)

SEC-4400MO SEC-7340MO-UC SEC-4400MC-UC SEC-7455MO SEC-4400MC
SEC-4550RC SEC 3030-07663 SEC-8460 SEC AMAT 3030-06043 SEC-7330MC-UC
SEC-7330AMC-302 SEC-7455MO-UC SEC-7330R SEC-Z522KXC-T50 SEC-7340MO-UC

 

Brooks Instrument<Celerity, Mykrolis, Millipore, Tylan, Tylan General, UNIT Instruments>

UFC-1660 UFC–1661 UFC–1665 UFC-7361 UFC-8160 UFC-8161 UFC-8165 UFC-8261 UFC-8561
UFC-8565 UNIT 3100 UNIT3161 UNIT3165 FC260 FC261 FC262 FC280 FC280SA
FC2900/FC2910 Series FC2900M FC2920/FC2921 Series FC2960M FC2979M IFC125C FM360
FM361 FM362 FM380 FM380SA FM3900 FM3910 FM3920 FM3921 180C
7300 7301 7301C 7304 7304C 8100 8101 8101C 8105
TN2900M Series IntelliFlow 3XP/GF50(IN3XP) IntelliFlow 3XP High Flow Rate 8105C
IntelliFlow Ⅱ(IN2)              

 

荏原製作所(EBARA)

TMP ET series ”ET300WS,ET450C,ET600WS,ET800WS,ET1600WS” DRY PUMP 従来機”40×20 ,65×40 ,50×20 ,80×25 ,150×40(D,J) ”
DRY PUMP A series ”A07V,A10S,A25S,A30W,A70W,A150W, A200W” DRY PUMP EST series “EST10N,25N,100WN,200WN,300WN,500WN”
DRY PUMP AA series” AAL10,AA10, AA20, AA30, AA40W, AA70W,AA100W,AA200W”
DRY PUMP AAS series”AAS10,AAS20,AAS40W,AAS70W,AAS100W,AAS200W”
DRY PUMP ESR series ”ESR20N,30,30N,80W,80WN,100WN,200W,200WN,300W,300WN,500W,500WN”

 

島津製作所(SHIMADZU)

TMP-301/303/801/802/803/1001/1002/1003/2003 TMP-280L/550L/1000L/1500L TMP-303LMC(A1)/403LM
TMP-200CM/200LM/202LM/203LM TMP-3203LM-N1/LMC-K1/LMEC-K1 TMP-1002LM
TMP-1303LMC TMP-2003LM TMP3403LMC-T1/3403LMC T4/3603LMC-A1

 

EDWARDS(SEIKO SEIKI, BOC EDWARDS)

STP-300C/400C STP-301/603/1003 STP-600C/H600C/1000C/H1000C STP-600C/H600C/1000C/H1000C
STP-603C/H803C/1003C/H1301C/H1303C STP-H301C/451C/2000C/2001C/H2001C/H2001K1B/H2002C STP-L301C
STP-A803H/A1303C/A1603C/A2203C/2503C/3003C/3503C STP-F2203C/XA2603C/XA2703C/XH2603C/XH2703C/3203C/4503C
STP-iXA2206/iXA3306/iXA4506 QDP-40 /80 iQDP-40 /80 QMB-250 /500 /1200/2600
IH-80/160/600/1000/1800/1800HTX E2M-0.7/-0.8 /1.5 /5 /8 /12 /18 /28 /40 /80 /175 /275 TPU
IHX-100/200H/610/1210/1210H/1210HT/1220H/1220HTX/1820T/1820/1820H/3030TX/3030/3030T ATLUS
EH-250/500/1200/2600 QMB-250/500/1200/2600 SPECTRA ZENIS
LEYBOLD TMP35/50/70/151/340M/361/450/600 TMP1000C/1100C TW250S/701 T1600
Mag400/900/1200/2000/2010CHT MagW830/W1300C/W1500CT/W2000/W2010CHT

 

三菱(MITSUBISHI)

PT150/1500 FT1200W/1400W FT2200 FT3000W/3300W/3301W

 

大阪真空(OSAKA)

TH532 ULVAC KEYTRAN ALCATEL MDP5011 Varian Rigaku
TG050/220F/550 UTM150/500/3301W RTPG151/300VRC ATP5150/5400/5402CIS
ATH400M/1300M/1600M/2300M TG700M/900M/1000M/1103M TG2000M/2001M/2203M/2300M/2400M
ATP80/100/150/300/400/900TMP1000C/1100C V200A/250/300HT/551/701/1000A/1000HT/1001HT/1000ICE/1800A